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用于对三维特征进行成像的方法和系统。用于基于在不同样品深度处的多个基准来铣削样品和对样品进行成像的方法和系统包括：在第一样品深度处的第一样品表面上形成第一基准；铣削所述样品表面的至少一部分以在第二样品深度处暴露第二样品表面；在所述第二样品表...
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