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本发明公开了一种基板清洗系统，包括腔室和设置在腔室内的支撑卡盘和喷淋单元，基板固定在支撑卡盘上；喷淋单元用于将冲洗液喷淋到基板上以对基板进行清洗，其中，喷淋单元包括喷嘴，在喷嘴中设置有以向外倾斜的结构配置的多个排出管，以使通过排出管排出的冲...
该专利属于广州集成电路技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州集成电路技术研究院有限公司授权不得商用。

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