温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明实施例公开了一种半导体器件的外延结构及其制备方法、半导体器件,外延结构包括衬底以及位于衬底一侧的半导体层;半导体层至少包括设置于衬底一侧的缓冲层;沿源极预设区指向漏极预设区的方向,缓冲层包括相互连接的第一缓冲分部和第二缓冲分部,第一缓...该专利属于苏州能讯高能半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州能讯高能半导体有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明实施例公开了一种半导体器件的外延结构及其制备方法、半导体器件,外延结构包括衬底以及位于衬底一侧的半导体层;半导体层至少包括设置于衬底一侧的缓冲层;沿源极预设区指向漏极预设区的方向,缓冲层包括相互连接的第一缓冲分部和第二缓冲分部,第一缓...