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本申请提供一种机台工艺环境的配置方法与装置，机台包括PLC、传送腔室和工艺腔室，方法包括：确定PLC中用于工艺环境配置的I/O点位，基于AI点位的输入值确定传送腔室与工艺腔室的初始压力差，并在初始压力差大于预设阈值的情况下，基于第一阀门配置...
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