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一种套刻偏差的补偿系统及方法，包括：提供若干历史处理晶圆；根据若干历史处理晶圆获取晶圆预测补偿数据库，晶圆预测补偿数据库包括：历史处理晶圆对应的第一制程路径、每个历史处理晶圆对应第一偏差补偿值；提供待补偿晶圆；获取待补偿晶圆的第二制程路径；...
该专利属于中芯南方集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯南方集成电路制造有限公司授权不得商用。

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