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本发明公开一种立式晶体生长炉下炉盖锁紧机构,涉及锁紧机构技术领域,包括设置于框架上的锁紧组件和驱动系统,所述锁紧组件包括联动块、安装座、连杆座和驱动结构;所述安装座用于与所述框架或炉体相连接,所述驱动结构设置于所述安装座一端,所述连杆座设置...该专利属于宁波恒普真空科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁波恒普真空科技股份有限公司授权不得商用。
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