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一种单面板上加工不同孔径TGV的方法及其刻蚀装置，其中，一种单面板上加工不同孔径TGV的方法，包括以下步骤：步骤1：将待加工的清洗并干燥：步骤2：利用激光在上预设海量的小孔：步骤3：将步骤2中经过改性后的置于具有多个超声波振子组成的超声波相...
该专利属于广东工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过广东工业大学授权不得商用。

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