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本实用新型属于半导体生产设备技术领域，具体的说是一种半导体铜抛设备盘型在线检测机构，包括铜盘体；所述铜盘体的顶部设有顶部固定板；所述顶部固定板顶部固接有连接杆；所述连接杆设置在电推缸的输出端；所述连接杆的底部固接有若干个第一固定杆；所述第一...
该专利属于苏州赛万玉山智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州赛万玉山智能科技有限公司授权不得商用。

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