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本发明提供一种静电吸盘及其制造方法、以及基板固定装置，该静电吸盘包括：基体，其具有放置吸附目标对象的放置表面；热扩散层，其直接形成在基体的与放置表面相反的表面上；绝缘层，其在热扩散层的与基体相反的一侧布置成与热扩散层接触；以及发热体，其埋入...
该专利属于新光电气工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过新光电气工业株式会社授权不得商用。

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