下载半导体结构的形成方法及半导体结构的技术资料

文档序号:33946145

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本发明实施例提供一种半导体结构的形成方法及半导体结构,其中,半导体结构的形成方法,包括:在衬底上形成多个分立的晶体管结构;形成覆盖晶体管结构的介质层;在介质层的顶部表面形成分立的金属层;在金属层之间的间隙形成开口;用绝缘层填充开口,绝缘层的...
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