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一种基于芯片加工的晶圆激光切割装置制造方法及图纸
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下载一种基于芯片加工的晶圆激光切割装置的技术资料
文档序号:33933456
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本发明提供一种基于芯片加工的晶圆激光切割装置,涉及激光切割技术领域,包括操作主槽架,所述操作主槽架两侧一体化连接有两个晶圆储存槽架,两个所述晶圆储存槽架外端均固定安装有用于存放加工前后晶圆的晶圆储存交替组件,所述吸盘滑动顶下端固定安装有两个...
该专利属于苏州译品芯半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州译品芯半导体有限公司授权不得商用。
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