下载一种基于芯片加工的晶圆激光切割装置的技术资料

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本发明提供一种基于芯片加工的晶圆激光切割装置,涉及激光切割技术领域,包括操作主槽架,所述操作主槽架两侧一体化连接有两个晶圆储存槽架,两个所述晶圆储存槽架外端均固定安装有用于存放加工前后晶圆的晶圆储存交替组件,所述吸盘滑动顶下端固定安装有两个...
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