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本文公开了一种用于带电粒子显微镜的可调节无磁场物镜。示例带电粒子显微镜至少包含：第一光学元件和第二光学元件，所述第一光学元件和所述第二光学元件布置在样品平面的相反侧上；第三光学元件，所述第三光学元件布置在所述样品平面周围；以及控制器，所述控...
该专利属于FEI公司所有，仅供学习研究参考，未经过FEI公司授权不得商用。

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