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一种探针盘、晶圆检测卡、晶圆测试系统,其中,可以采用一种新的探针盘调试测试探针和晶圆锡球相对位置,新的探针盘用于对待测试晶圆进行针位检测,包括:一个或多个定位孔,所述定位孔用于确定所述待测试晶圆上的第一预设针位;探针,所述探针用于与所述待测...该专利属于格科微电子(浙江)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过格科微电子(浙江)有限公司授权不得商用。
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一种探针盘、晶圆检测卡、晶圆测试系统,其中,可以采用一种新的探针盘调试测试探针和晶圆锡球相对位置,新的探针盘用于对待测试晶圆进行针位检测,包括:一个或多个定位孔,所述定位孔用于确定所述待测试晶圆上的第一预设针位;探针,所述探针用于与所述待测...