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本实用新型提供一种晶圆划片系统，包括：晶圆背面检测装置、晶圆清洗装置及晶圆划片装置；晶圆背面检测装置用于对待划片的晶圆进行背面检测，判断晶圆背面是否干净；晶圆清洗装置用于对背面不干净的晶圆进行清洗；晶圆划片装置用于对背面干净的晶圆进行划片。...
该专利属于长电集成电路（绍兴）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长电集成电路（绍兴）有限公司授权不得商用。

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