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半导体装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:33879827
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本实施方式所涉及的半导体装置具备层叠的多个第1半导体芯片。第1柱状电极与多个第1半导体芯片的电极盘连接,沿多个第1半导体芯片的层叠方向延伸。多个第2半导体芯片层叠于第1半导体芯片的上方。第2柱状电极与多个第2半导体芯片的电极盘连接,沿多个第...
该专利属于铠侠股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过铠侠股份有限公司授权不得商用。
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