下载三维存储器、制备方法及存储系统的技术资料

文档序号:33852406

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本申请提供了一种三维存储器、制备方法及存储系统。三维存储器包括:堆叠结构;多个沟道结构,包括沟道层,并贯穿堆叠结构;以及顶部选择栅结构,形成于相邻的沟道结构之间,并穿过部分堆叠结构,其中,沿堆叠结构的厚度方向,至少一个所述沟道结构的靠近顶部...
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