温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
单片晶圆清洗机的组装夹具,包括一个底座、一个升降组件和一个夹持臂;升降组件安装于底座的上方;升降组件设有相对布置的两个升降臂、一个动力件、一个传动组件和两个丝杆,传动组件的一端连接动力件,另一端连接两个丝杆,并带动两个丝杆同步转动;两个升降...该专利属于广州粤芯半导体技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广州粤芯半导体技术有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
单片晶圆清洗机的组装夹具,包括一个底座、一个升降组件和一个夹持臂;升降组件安装于底座的上方;升降组件设有相对布置的两个升降臂、一个动力件、一个传动组件和两个丝杆,传动组件的一端连接动力件,另一端连接两个丝杆,并带动两个丝杆同步转动;两个升降...