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一种针对总剂量效应损失的半导体辐照探测器制造技术
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下载一种针对总剂量效应损失的半导体辐照探测器的技术资料
文档序号:33848793
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本发明公开一种针对总剂量效应损失的半导体辐照探测器,涉及辐照探测技术领域。半导体辐照探测器包括:半导体场效应管,以及设置在半导体场效应管顶部后端的电容模块;电容模块被配置为在进行预充电后,随着总剂量效应的不断累积,电容模块两端电压发生漂移,...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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