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具有堆叠沟槽接触部和栅极带的晶体管装置制造方法及图纸
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下载具有堆叠沟槽接触部和栅极带的晶体管装置的技术资料
文档序号:33846427
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本文公开的是具有沟槽接触部的晶体管装置,沟槽接触部具有彼此堆叠的两个部分:第一沟槽接触部和第二沟槽接触部。这样的晶体管装置可以通过如下方式制造:在晶体管的源极或漏极接触部之上形成第一沟槽接触部,使第一沟槽接触部凹陷,在第一沟槽接触部之上形成...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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