下载包括铁电层的半导体器件及其制造方法的技术资料

文档序号:33846085

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本公开提供了一种包括铁电层的半导体器件及其制造方法。根据实施例的半导体器件包括:衬底;位线结构和源极线结构,分别在垂直于衬底表面的方向上延伸;半导体层,其设置在平行于衬底表面的平面上在位线结构与源极线结构之间;第一铁电层,其设置在半导体层的...
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