下载一种夹渣含杂的单晶锗废料除杂方法的技术资料

文档序号:33813714

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本发明属于锗单晶生长技术领域,具体公开一种夹渣含杂锗废料除杂方法,包括以下步骤:单晶锗生长废料融化;废料夹渣降温再结晶:锗废料完全融化为熔融态后,调整加热功率使温度下降15℃~50℃,使熔体再结晶;腔室流场控制:经过再结晶处理后的锗熔体,控...
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