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本发明提供高效且低噪的电源和检查装置。本发明的电源对加热机构供电，该加热机构用于加热能够产生测量信号的测量对象，电源包括：输入部，其用于进行输入信号的输入，该输入信号是通过使控制信号反映到1kHz以下频率的可微分周期性波形上得到的信号；和开...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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