电源和检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供高效且低噪的电源和检查装置。本发明专利技术的电源对加热机构供电，该加热机构用于加热能够产生测量信号的测量对象，电源包括：输入部，其用于进行输入信号的输入，该输入信号是通过使控制信号反映到1kHz以下频率的可微分周期性波形上得到的信号；和开关放大部，其利用开关电路将从输入部输入的信号放大并输出。输出。输出。

【技术实现步骤摘要】
电源和检查装置


[0001]本专利技术涉及电源和检查装置。

技术介绍

[0002]在半导体制造工艺中，会在半导体晶片(以下简称为晶片)上形成具有规定电路图案的大量的电子器件。所形成的电子器件的电气特性在晶片状态下由称为探针的检查装置进行检查。
[0003]这样的检查装置为了在检查器件的电气特性时能够重现该电子器件的安装环境，利用冷却介质流路和加热器来控制对晶片进行保持的晶片吸盘的温度(例如专利文献1)。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2008
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66692号公报

技术实现思路

[0007]专利技术要解决的技术问题
[0008]在检查装置这样的测量装置中，对能够产生测量信号的器件进行加热时使用加热器，而对于向该加热器供电的电源，要求具有高效且低噪的特性。
[0009]本专利技术提供高效且低噪的电源和检查装置。
[0010]解决问题的技术手段
[0011]本专利技术的一个方面的电源用于加热能够检测到测量本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种对加热机构供电的电源，所述加热机构用于加热能够产生测量信号的测量对象，所述电源的特征在于，包括：输入部，其用于进行输入信号的输入，所述输入信号是通过使控制信号反映到1kHz以下频率的可微分周期性波形上得到的信号；和开关放大部，其利用开关电路将从所述输入部输入的信号放大并输出。2.如权利要求1所述的电源，其特征在于：所述输入部包括：信号源，其产生所述1kHz以下频率的可微分周期性波形的信号；和乘法器，其使所述控制信号与由所述信号源产生的信号相乘。3.如权利要求1或2所述的电源，其特征在于：所述控制信号的变化在电压为零的点进行。4.如权利要求1～3中任一项所述的电源，其特征在于：使电压为最大的点与电流为最大的点在时间上错开。5.如权利要求1～4中任一项所述的电源，其特征在于：所述开关放大部包括模拟放大器。6.如权利要求5所述的电源，其特征在于：所述模拟放大器是使用了PWM的模拟放大器。7.如权利要求6所述的电源，其特征在于：所述使用了PWM的模拟放大器包括：三角波发生器；对所述输入信号与由所述三角波发生器产生的三角波进行比较的比较器；设定从所述比较器输出的信号的占空比的PWM驱动器；将来自所述PWM驱动器的信号输出成所要求的矩形波的输出晶体管；和对所述矩形波进行平滑化来使其成为与所述输入信号的波形同样的可微分波形的低通滤波器。8.如权利要求7所述的电源，其特征在于：所述使用了PWM的模拟放大器还包括：将输出信号进行反馈的反馈电路；和将反馈来的所述输出信号与所述输入信号之差放大并输入到所述比较器的误差放大器。9.如权利要求6～8中任一项所述的电源，其特征在于：还包括具有与所述开关放大部相同结构的另一开关放大部，对所述开关放大部将所述输入信号保持原样地输入，对所述另一开关放大部将所述输入信号经由反相放大器输入，所述开关...

【专利技术属性】
技术研发人员：河西繁，藤井郁也，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：