下载用于在衬底加工期间进行自旋过程视频分析的系统和方法的技术资料

文档序号:33805024

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相机图像可以用于检测衬底边缘,并提供关于该衬底在流体分配系统内的定心的信息。相机图像还可以用于监测该流体分配系统内的杯形件的位置。所利用的信号处理技术可以包括数据平滑、仅分析反射能量的特定波长、变换数据(在一个实施例中利用傅立叶变换)、和/...
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