【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于在衬底加工期间进行自旋过程视频分析的系统和方法
[0001]本申请要求于2019年11月4日提交的名称为“Systems and Methods for Spin Process Video Analysis During Substrate Processing[用于在衬底加工期间进行自旋过程视频分析的系统和方法]”的美国临时专利申请号62/930,087的优先权；该美国临时专利申请的披露内容通过援引以其全文明确并入本文。本申请还要求于2019年11月14日提交的名称为“Systems and Methods for Automated Video Analysis Detection Techniques for Substrate Process[用于衬底工艺的自动视频分析检测技术的系统和方法]”的美国临时专利申请号62/935,162的优先权；该美国临时专利申请的披露内容通过援引以其全文明确并入本文。本申请还要求于2020年1月6日提交的名称为“Hardware Improvements and Methods for the Analysis ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种监测流体分配系统的一个或多个特性的方法，该方法包括：在该流体分配系统内提供衬底；获得该流体分配系统内的该衬底的相机图像；从该相机图像中确定该衬底的至少一个边缘的位置；以及利用关于该衬底的至少一个边缘的位置的信息来分析该衬底在该流体分配系统内的放置。2.如权利要求1所述的方法，其中，分析该衬底在该流体分配系统内的放置提供了关于该衬底在该流体分配系统内的定心的信息。3.如权利要求2所述的方法，其中，定心信息是关于该流体分配系统的杯形件提供的。4.如权利要求1所述的方法，其中，关于杯形件的位置来分析该衬底在该流体分配系统内的放置。5.如权利要求1所述的方法，进一步包括从该相机图像中确定杯形件的至少一个边缘的位置。6.如权利要求5所述的方法，其中，分析该衬底在该流体分配系统内的放置提供了关于该衬底在该流体分配系统内的定心的信息。7.如权利要求6所述的方法，其中，定心信息是关于该流体分配系统的杯形件提供的。8.如权利要求5所述的方法，进一步包括确定该衬底的至少一个边缘与该杯形件之间的关系。9.如权利要求1所述的方法，其中，利用关于该衬底的至少一个边缘的位置的信息来分析该衬底在该流体分配系统内的放置包括确定该衬底的至少一个边缘与该流体分配系统的固定物体之间的关系。10.如权利要求9所述的方法，其中，该固定物体是获得该相机图像的相机。11.如权利要求9所述的方法，其中，该固定物体是杯形件。12.如权利要求9所述的方法，其中，确定该衬底的至少一个边缘与该流体分配系统的固定物体之间的关系包括确定从该衬底到杯形件的至少两个边缘的距离。13.一种监测流体分配系统的一个或多个特性的方法，该方法包括：在该流体分配系统内提供杯形件；获得该流体分配系统内的该杯形件的相机图像；从该相机图像中确定该杯形件的至少一个边缘的位置；以及利用关于该杯形件的至少一个边缘的位置的信息来分析该杯形件在该流体分配系统内的放置。14.如权利要求13所述的方法，其中，在更换该杯形件之后对该杯形件在该流体分配系统内的放置进行分析，以确定该杯形件是否被正确地更换。15.如权利要求13所述的方法，进一步包括基于关于该杯形件的至少一个边缘的位置的信息来确定该杯形件的位置的偏离。16.如权利要求13所述的方法，进一步包括：从该相机图像中确定衬底的至少一个边缘的位置；以及利用关于该衬底的至少一个边缘的位置的信息来分析该衬底在该流体分配系统内的放置。
17.如权利要求13所述的方法，其中，从该相机图像中确定该杯形件的至少一个边缘的位置包括分析由该相机检测到的X和/或Y切面图像。18.如权利要求13所述的方法，其中，从该相机图像中确定该杯形件的至少一个边缘的位置包括识别该相机图像的强度、颜色和/或灰度的差异。19.如权利要求13所述的方法，进一步包括在检测到偏离预期杯形件位置时提供警报。20.如权利要求13所述的方法，其中，利用关于该杯形件的至少一个边缘的位置的信息来分析该杯形件在该流体分配系统内的放置包括确定该杯形件的至少一个边缘与该流体分配系统的固定物体之间的关系。21.如权利要求20所述的方法，其中，该固定物体是获得该相机图像的相机。22.一种监测流体分配系统的一个或多个特性的方法，该方法包括：在该流体分配系统内提...
【专利技术属性】
技术研发人员：迈克尔，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：
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