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用于三维交叉点存储器的柱状选择晶体管制造技术
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下载用于三维交叉点存储器的柱状选择晶体管的技术资料
文档序号:33802521
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一种存储器器件结构包括:垂直晶体管,具有在源极和漏极之间的沟道;栅极电极,邻近于沟道,其中栅极电极在与沟道的纵轴正交的第一方向上。栅极电介质层在栅极电极和沟道之间。第一互连的第一端子与源极或漏极耦合,其中第一互连与纵轴共线。存储器器件结构还...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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