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本公开提供了一种研磨垫修整器及化学机械研磨装置，研磨垫修整器包括：修整器本体，包括滚筒和布置在滚筒的周向侧面上的修整颗粒，滚筒沿其延伸方向的长度至少为研磨垫的半径，滚筒可转动地设置；修整器本体具有用于压设在研磨垫上的工作位置和与研磨垫分离的...
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