下载一种P型低位错锗单晶制备工艺的技术资料

文档序号:33775194

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本发明属于单晶生长技术领域,公开了一种P型低位错锗单晶的制备工艺,具体包括:原料酸法腐蚀、引细颈、放肩、转肩、等径生长、收尾退火、降温冷却,该工艺在放肩阶段保持温度恒定不变,分两个阶段线性降低晶体生长速度,第一阶段:在3~3.5h内,把生长...
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