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本申请实施方式提供了一种晶圆缺陷检测系统的可靠性确定方法，包括：确定量产的缺陷晶圆的标准检测数据；采用待分析的检测系统对缺陷晶圆进行缺陷检测以获取样本检测数据；以及根据样本检测数据和标准检测数据确定待分析的检测系统的可靠性。本申请提供的可靠...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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