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三维存储器、制备方法及存储系统技术方案
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文档序号:33773721
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本申请的实施方式提供了一种三维存储器、制备方法及存储系统。三维存储器可例如包括:第一堆叠结构,包括多个第一堆叠层,第一堆叠层包括导电层和层间绝缘层;多个第一接触部,从第一堆叠结构的第一表面穿过部分第一堆叠层并分别延伸至各自预定深度的导电层,...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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