下载三维存储器及其制备方法、存储器系统的技术资料

文档序号:33773025

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本申请的实施方式提供了一种三维存储器及其制备方法。该三维存储器包括:半导体层;叠层结构,位于半导体层上,多个栅线缝隙结构,贯穿叠层结构;以及多个隔离部,穿过叠层结构的靠近半导体层的一部分,并分别包覆每个栅线缝隙结构的至少一部分。本申请的实施...
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