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本文披露了用于校准晶圆检查系统模块的系统和方法的各种实施例。更具体地，本披露提供了用于校准由包括在WIS模块内的相机系统从衬底获得的多光谱带值的系统和方法的各种实施例。在一个实施例中，多光谱带值是红色、绿色和蓝色(RGB)值。如下文更详细描...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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