下载电子器件和用于制造电子器件的系统的技术资料

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本公开涉及电子器件和用于制造电子器件的系统。该电子器件包括:碳化硅SiC的衬底,所述衬底具有沿一方向彼此相对的正侧与背侧;在所述衬底的所述正侧处延伸的SiC的结构层;在所述结构层中延伸的有源区,所述有源区被配置为在所述电子器件的使用期间生成...
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