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本文描述一种用于产生用于待印刷于衬底上的目标图案的重靶向图案的方法。该方法包括：获得(i)包括至少一个特征的目标图案，该至少一个特征具有包括第一维度和第二维度的几何形状；以及(ii)多个偏差规则，该多个偏差规则被定义为第一维度、第二维度和与...
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