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在特征填充期间减轻线弯曲的方法包括在填充期间沉积非晶层和/或抑制处理。填充期间沉积非晶层和/或抑制处理。填充期间沉积非晶层和/或抑制处理。
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该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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