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本实用新型涉及一种用于半导体反应腔室的防护条及半导体反应腔室，其中，半导体反应腔室包括腔室本体和一开口，在开口四周环绕有凸出部，防护条可拆卸的卡接于凸出部上。本实用新型通过将防护条可活动的卡接于凸出部上，避免了当盖板盖设于开口上时，盖板对凸...
该专利属于盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司授权不得商用。

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