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一种高纯度的Mo掺杂ITO靶材的制备方法技术
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文档序号:33723735
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本发明提供一种高纯度的Mo掺杂ITO靶材的制备方法,包括以下步骤:(1)将MoO2、SnO2、水和分散剂搅拌分散;(2)搅拌分散后,将混合溶液球磨至粒度合格;(3)将In2O3、水、分散剂和粘结剂进行乳化;(4)将乳化后的溶液加入到步骤(2...
该专利属于先导薄膜材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过先导薄膜材料有限公司授权不得商用。
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