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本公开的实施例涉及具有集成机械光调制器光学调制器的辐射传感器及相关制造工艺。一种辐射传感器，包括检测组件和斩波器组件，检测组件和斩波器组件机械地耦接以界定主腔；并且其中，斩波器组件包括：在主腔中延伸的悬置可移动结构；以及致动结构，致动结构电...
该专利属于意法半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过意法半导体股份有限公司授权不得商用。

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