【技术实现步骤摘要】
具有集成机械光学调制器的辐射传感器及相关制造工艺
[0001]本公开涉及一种具有集成机械光学调制器的辐射传感器及其相应的制造工艺。
技术介绍
[0002]众所周知，目前有许多辐射(例如红外辐射)传感器可用，其中一些由图1所示类型的系统表征。图1详细地示出传感器1和表征系统2，表征系统2包括：光源4，光源4模拟黑体并且发射辐射；机械型光学调制器6(即快门)，也称斩波器6，被配置为接收由光源4发射的辐射并且传输测试辐射；光学电路8，光学电路8被配置为接收测试辐射并且将其引导至传感器1，使得传感器1生成对应的电信号；以及放大和控制电路装置10，用于接收并且放大电信号，生成可以用于表征的相应输出信号并且进一步控制斩波器6，以确保斩波器6的正确定时。放大和控制电路装置10通常包括所谓的锁定放大器。
[0003]实际上，机械型斩波器6允许以下述方式调制测试辐射的强度：使得由传感器1生成的电信号位于平移频带中；以这种方式，由放大和控制电路装置10生成的输出信号受益于相对于例如光噪声的更大弹性。
[0004]不幸的是，需要斩...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种辐射传感器，包括：检测组件和斩波器组件，所述检测组件和所述斩波器组件机械地耦接以界定主腔，其中所述斩波器组件包括：在所述主腔中的悬置可移动结构；以及致动结构，被配置为电可控制以引起所述悬置可移动结构的位置变化，其中，所述检测组件包括检测结构，所述检测结构面向所述主腔并且包括多个检测设备，并且其中，所述悬置可移动结构包括导电材料的第一屏蔽件，所述第一屏蔽件被配置为屏蔽所述多个检测设备免受所述辐射，所述多个检测设备的所述屏蔽根据所述悬置可移动结构的位置而变化。2.根据权利要求1所述的辐射传感器，其中所述斩波器组件包括固定本体和可变形结构，所述悬置可移动结构通过所述可变形结构的插置而耦接至所述斩波器组件的所述固定本体，其中所述致动结构电可控制，以引起所述悬置可移动结构相对于所述斩波器组件的所述固定本体的移动以及所述可变形结构的所产生的变形。3.根据权利要求2所述的辐射传感器，其中所述多个检测设备具有平面布置；并且其中所述致动结构被配置为使所述悬置可移动结构与所述平面布置平行地移动。4.根据权利要求2所述的辐射传感器，其中所述检测组件包括横向界定检测腔的主半导体本体和固定至所述主半导体本体的外部本体，其中所述检测结构固定至所述主半导体本体，并且悬置在所述检测腔处，所述检测腔在底部由所述外部本体封闭。5.根据权利要求2所述的辐射传感器，其中所述检测组件包括主半导体本体，并且其中所述检测结构集成在所述主半导体本体上。6.根据权利要求4所述的辐射传感器，其中所述斩波器组件还包括部分透射第二屏蔽件，所述部分透射第二屏蔽件固定在所述斩波器组件的所述固定本体上，并且具有使得所述多个检测设备的屏蔽取决于所述悬置可移动结构相对于所述检测结构的位置、并且取决于所述悬置可移动结构相对于所述第二屏蔽件的位置的形状。7.根据权利要求2所述的辐射传感器，其中所述悬置可移动结构在所述斩波器组件的固定本体下方延伸，其中所述斩波器组件包括第二屏蔽件，所述第二屏蔽件布置在所述斩波器组件的所述固定本体的顶部并且是部分透射的，其中所述检测结构相对于所述悬置可移动结构横向地偏移，所述悬置可移动结构被配置为在辐射已经照射在所述第二屏蔽件上并且已经穿过所述第二屏蔽件和所述斩波器组件的所述固定本体之后接收辐射，所述悬置可移动结构被配置为对所接收的辐射进行色度散射，以将波长取决于所述检测设备相对于所述悬置可移动结构的横向偏移的辐射朝各个检测设备引导；并且其中所述第一屏蔽件和所述第二屏蔽件被配置为根据所述悬置可移动结构相对于所述第二屏蔽件的位置，来衰减照射在所述第二屏蔽件上的所述辐射。8.根据权利要求7所述的辐射传感器，其中所述检测组件包括主半导体本体，所述主半导体本体横向地界定所述主腔的一部分，其中所述主腔在底部由所述检测结构封闭，所述检测结构接合在所述主半导体本体之下。9.根据权利要求7所述的辐射传感器，其中所述检测组件包括主半导体本体和间隔件，并且其中所述间隔件插置在所述斩波器组件的所述固定本体与所述检测组件的所述主半
导体本体之间、并且横向地界定所述主腔的一部分，所述主腔在底部由所述检测结构封闭，所述检测结构集成在所述检测组件的所述主半导体本体上。10.一种设备，包括：辐射传感器，所述辐射传感器包括：检测组件，耦接至斩波器组件，所述检测组件和所述斩波器组件界定主腔，其中所述斩波器组件包括：在所述主腔中的悬置可移动结构；以及致动结构，被配置为电可控制以引起所述悬置可移动结构的位置变化，其中，所述检测组件包...
【专利技术属性】
技术研发人员：M，
申请(专利权)人：意法半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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