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本发明提供加工装置，稳定且容易地评价加工痕的判定条件。加工装置具有：卡盘工作台，其能够保持具有多条分割预定线的被加工物；加工单元，其沿着该分割预定线对该卡盘工作台所保持的该被加工物进行加工；照相机单元，其对该卡盘工作台所保持的该被加工物进行...
该专利属于株式会社迪思科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社迪思科授权不得商用。

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