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在凹陷特征中自底向上金属化的方法技术
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下载在凹陷特征中自底向上金属化的方法的技术资料
文档序号:33720492
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金属化的方法包括接收在其中形成有凹陷的衬底。该凹陷具有底部和侧壁,并且在凹陷的底部和侧壁上沉积共形衬里。从凹陷的上部去除共形衬里,以露出凹陷的上侧壁,同时留下凹陷的下部中的共形衬里,从而覆盖凹陷的底部和下侧壁。在凹陷的下部中沉积金属以形成金...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。
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