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本发明提供一种声表面波谐振器及其制造方法、以及声表面波滤波器，具有高品质因素Q、高机电耦合系数、良好的TCF特性和耐功率性。本发明的声表面波谐振器，包括：复合压电衬底，该复合压电衬底具有：LGS基底层，该LGS基底层由单晶LGS形成，及形成...
该专利属于广东广纳芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东广纳芯科技有限公司授权不得商用。

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