下载一种具有低比导通电阻的SiCMOSFET器件及其制备方法的技术资料

文档序号:33705102

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本发明属于功率半导体器件技术领域,涉及一种具有低比导通电阻的SiC MOSFET器件,包括形成于N型重掺杂半导体衬底之上的N型半导体漂移区;形成于N型半导体漂移区表面的P阱区和JFET区形成于P阱区表面的P型重掺杂半导体体接触区和N型重掺杂...
该专利属于湖南大学所有,仅供学习研究参考,未经过湖南大学授权不得商用。

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