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本发明提供一种能够使形成在基板上表面的涂布层均匀地干燥的减压干燥装置。减压干燥装置包括腔室、载台、减压机构以及底面整流板。底面整流板位于被支撑于载台的基板与腔室的底板部之间。底面整流板沿着底板部的上表面而展开。在腔室内的减压时，基板的上表面...
该专利属于株式会社斯库林集团所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社斯库林集团授权不得商用。

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