减压干燥装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够使形成在基板上表面的涂布层均匀地干燥的减压干燥装置。减压干燥装置包括腔室、载台、减压机构以及底面整流板。底面整流板位于被支撑于载台的基板与腔室的底板部之间。底面整流板沿着底板部的上表面而展开。在腔室内的减压时，基板的上表面侧的气体通过底面整流板的侧方而流向底面整流板的下方。由此，能够抑制气流集中在基板的周缘部。而且，不拘于基板的方向如何，在俯视时，底面整流板均大于基板。因此，能够抑制减压时的气体的流动因被支撑于载台的基板的方向而发生变化。因此，能够使形成在基板上表面的涂布层均匀地干燥。匀地干燥。匀地干燥。

【技术实现步骤摘要】
减压干燥装置


[0001]本专利技术涉及一种通过减压来使形成在基板上表面的涂布层干燥的减压干燥装置。

技术介绍

[0002]以往，在有机电致发光(Electroluminescence，EL)显示器的制造工序中，在基板的上表面形成成为空穴注入层、空穴输送层或发光层的涂布层。涂布层是通过喷墨装置而局部地涂布在基板的上表面。并且，形成有涂布层的基板被搬送至减压干燥装置的腔室内，接受减压干燥处理。由此，涂布层中所含的溶剂气化而涂布层干燥。
[0003]减压干燥装置包括：收容基板的腔室、以及从腔室抽吸气体的减压机构。关于以往的减压干燥装置，例如在专利文献1中有所记载。
[0004][现有技术文献][0005][专利文献][0006][专利文献1]日本专利特开2018
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49806号公报

技术实现思路

[0007][专利技术所要解决的问题][0008]以往的减压干燥装置在腔室的底面设有排出腔室内的气体的排气口。这是为了在腔室的减压时，在基板的上表面侧形成均匀的气流。但是，若在腔室的底面存在排气口，则基板的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种减压干燥装置，通过减压来使形成在基板上表面的涂布层干燥，所述减压干燥装置包括：腔室，收容基板；载台，在所述腔室的内部，从下方支撑基板；底面整流板，位于被支撑于所述载台的基板与所述腔室的底板部之间，沿着所述底板部的上表面而展开；多个排气口，位于所述底面整流板的下方；以及减压机构，经由所述多个排气口来抽吸所述腔室内的气体，不拘于被支撑于载台的基板的方向如何，在俯视时，所述底面整流板均大于基板。2.根据权利要求1所述的减压干燥装置，其中所述底面整流板在俯视时为正方形，所述多个排气口在俯视时位于所述底面整流板的对角线上。3.根据权利要求1或2所述的减压干燥装置，还包括：侧面整流板，位于被支撑于所述载台的基板与所述腔室的侧壁部之间，沿着...

【专利技术属性】
技术研发人员：高村幸宏，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：