本发明专利技术提供一种能够使形成在基板上表面的涂布层均匀地干燥的减压干燥装置。减压干燥装置包括腔室、载台、减压机构以及底面整流板。底面整流板位于被支撑于载台的基板与腔室的底板部之间。底面整流板沿着底板部的上表面而展开。在腔室内的减压时，基板的上表面侧的气体通过底面整流板的侧方而流向底面整流板的下方。由此，能够抑制气流集中在基板的周缘部。而且，不拘于基板的方向如何，在俯视时，底面整流板均大于基板。因此，能够抑制减压时的气体的流动因被支撑于载台的基板的方向而发生变化。因此，能够使形成在基板上表面的涂布层均匀地干燥。匀地干燥。匀地干燥。
【技术实现步骤摘要】
减压干燥装置
[0001]本专利技术涉及一种通过减压来使形成在基板上表面的涂布层干燥的减压干燥装置。
技术介绍
[0002]以往，在有机电致发光(Electroluminescence，EL)显示器的制造工序中，在基板的上表面形成成为空穴注入层、空穴输送层或发光层的涂布层。涂布层是通过喷墨装置而局部地涂布在基板的上表面。并且，形成有涂布层的基板被搬送至减压干燥装置的腔室内，接受减压干燥处理。由此，涂布层中所含的溶剂气化而涂布层干燥。
[0003]减压干燥装置包括：收容基板的腔室、以及从腔室抽吸气体的减压机构。关于以往的减压干燥装置，例如在专利文献1中有所记载。
[0004][现有技术文献][0005][专利文献][0006][专利文献1]日本专利特开2018
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49806号公报
技术实现思路
[0007][专利技术所要解决的问题][0008]以往的减压干燥装置在腔室的底面设有排出腔室内的气体的排气口。这是为了在腔室的减压时，在基板的上表面侧形成均匀的气流。但是，若在腔室的底面存在排气口，则基板的上表面侧的气体会通过基板的侧方而朝向排气口。因此，气流会集中在基板的周缘部。于是，在基板的中央附近与基板的周缘部附近，干燥的推进程度产生差异。其结果，有时涂布层会产生干燥不均。
[0009]本专利技术是有鉴于此种情况而完成，其目的在于提供一种能够使形成在基板上表面的涂布层均匀地干燥的减压干燥装置。
[0010][解决问题的技术手段][0011]为了解决所述问题，本申请的第一专利技术是一种减压干燥装置，通过减压来使形成在基板上表面的涂布层干燥，所述减压干燥装置包括：腔室，收容基板；载台，在所述腔室的内部，从下方支撑基板；底面整流板，位于被支撑于所述载台的基板与所述腔室的底板部之间，沿着所述底板部的上表面而展开；多个排气口，位于所述底面整流板的下方；以及减压机构，经由所述多个排气口来抽吸所述腔室内的气体，不拘于被支撑于载台的基板的方向如何，在俯视时，所述底面整流板均大于基板。
[0012]本申请的第二专利技术是根据第一专利技术的减压干燥装置，其中，所述底面整流板在俯视时为正方形，所述多个排气口在俯视时位于所述底面整流板的对角线上。
[0013]本申请的第三专利技术是根据第一专利技术或第二专利技术的减压干燥装置，还包括：侧面整流板，位于被支撑于所述载台的基板与所述腔室的侧壁部之间，沿着所述侧壁部的内面而展开。
[0014]本申请的第四专利技术是根据第三专利技术的减压干燥装置，其中，所述载台可在下降位
置与比所述下降位置高的上升位置之间升降，所述侧面整流板的上端部比被支撑于所述下降位置的所述载台的基板的高度高，且比被支撑于所述上升位置的所述载台的基板的高度低。
[0015]本申请的第五专利技术是根据第三专利技术的减压干燥装置，其中，所述侧面整流板的至少一部分相对于所述底面整流板可移动。
[0016]本申请的第六专利技术是根据第五专利技术的减压干燥装置，其中，所述底面整流板与相对于所述底面整流板能够移动的所述侧面整流板彼此不接触。
[0017]本申请的第七专利技术是根据第三专利技术的减压干燥装置，还包括：顶面整流板，位于被支撑于所述载台的基板与所述腔室的顶板部之间，沿着所述顶板部的下表面而展开，所述顶面整流板具有使气体通过的开口。
[0018][专利技术的效果][0019]根据本申请的第一专利技术～第七专利技术，在腔室内的减压时，基板的上表面侧的气体通过底面整流板的侧方而流向底面整流板的下方。由此，能够抑制气流集中在基板的周缘部。而且，不拘于基板的方向如何，在俯视时，底面整流板均大于基板。因此，能够抑制减压时的气体的流动因被支撑于载台的基板的方向而发生变化。因此，能够使形成在基板上表面的涂布层均匀地干燥。
[0020]尤其，根据本申请的第二专利技术，在腔室内的减压时，能够形成更均匀的气流。
[0021]尤其，根据本申请的第三专利技术，在腔室内的减压时，基板的上表面侧的气体通过侧面整流板的外侧而流向底面整流板的下方。由此，能够进一步抑制气流集中在基板的周缘部。
[0022]尤其，根据本申请的第四专利技术，当载台处于下降位置时，能够形成从基板的上表面侧通过侧面整流板的外侧以及底面整流板的下侧而朝向排气口的气流。由此，能够沿着基板的上表面而形成均匀的气流。另一方面，当载台处于上升位置时，能够形成从基板的下表面侧通过侧面整流板的外侧以及底面整流板的下侧而朝向排气口的气流。由此，能够抑制在基板的上表面侧形成气流的现象。
[0023]尤其，根据本申请的第五专利技术，通过使侧面整流板的至少一部分可移动，从而能够确保基板的搬入以及搬出的路径。
[0024]尤其，根据本申请的第六专利技术，能够抑制因底面整流板与所述侧面整流板的滑接而产生粉尘的现象。
[0025]尤其，根据本申请的第七专利技术，能够形成从基板的上表面侧通过顶面整流板的上侧、侧面整流板的外侧以及底面整流板的下侧而朝向排气口的气流。
附图说明
[0026]图1是减压干燥装置的纵剖面图。
[0027]图2是减压干燥装置的横剖面图。
[0028]图3是基板的立体图。
[0029]图4是概念性地表示在控制部中实现的功能的框图。
[0030]图5是表示减压干燥处理的流程的流程图。
[0031]图6是表示腔室内的气压变化的图表。
[0032]图7是表示载台配置于上升位置时的腔室内的情况的图。
[0033]图8是表示四个独立阀的开闭状态的变化的时间图。
[0034]图9是基板的局部纵剖面图。
[0035]图10是表示载台配置于下降位置时的腔室内的情况的图。
[0036]图11是表示变形例的四个独立阀的开闭状态的变化的时间图。
[0037]图12是变形例的减压干燥装置的纵剖面图。
[0038]图13是变形例的减压干燥装置的纵剖面图。
[0039][符号的说明][0040]1：减压干燥装置
[0041]9：基板
[0042]10：腔室
[0043]11：底板部
[0044]12：侧壁部
[0045]13：顶板部、顶面部
[0046]14：搬入/搬出口
[0047]15：挡闸
[0048]16：挡闸驱动机构
[0049]16a～16d：排气口
[0050]16f：供气口
[0051]20：载台
[0052]21：支撑板
[0053]22：支撑销
[0054]23：升降机构
[0055]30：减压机构
[0056]31：排气配管
[0057]31a～31d：独立配管
[0058]31e：主配管
[0059]32：真空泵
[0060]40：底面整流板
[0061]41：对角线
[0062]50：侧面整流板
[0063]51：顶面整流板
[0064]52：开口
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种减压干燥装置，通过减压来使形成在基板上表面的涂布层干燥，所述减压干燥装置包括：腔室，收容基板；载台，在所述腔室的内部，从下方支撑基板；底面整流板，位于被支撑于所述载台的基板与所述腔室的底板部之间，沿着所述底板部的上表面而展开；多个排气口，位于所述底面整流板的下方；以及减压机构，经由所述多个排气口来抽吸所述腔室内的气体，不拘于被支撑于载台的基板的方向如何，在俯视时，所述底面整流板均大于基板。2.根据权利要求1所述的减压干燥装置，其中所述底面整流板在俯视时为正方形，所述多个排气口在俯视时位于所述底面整流板的对角线上。3.根据权利要求1或2所述的减压干燥装置，还包括：侧面整流板，位于被支撑于所述载台的基板与所述腔室的侧壁部之间，沿着...
【专利技术属性】
技术研发人员：高村幸宏，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：
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