温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

公开了光学部件及其制造方法。第一光学部件包括空芯光子晶体光纤，该空芯光子晶体光纤包括用于引导辐射的内部毛细管和包覆该内部毛细管的外部毛细管；以及至少一个输出端区段，该至少一个输出端区段在所述输出端区段的至少一部分上的内径大于沿着空芯光子晶体...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。