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本实用新型提供了一种石英环拆卸装置，用于拆卸晶圆承载盘上的石英环，包括：支撑单元，包括支撑柱及相互平行的第一平板和第二平板，所述支撑柱一端固定在位于晶圆承载盘外围的接地承载盘上，另一端贯穿所述第一平板，所述第二平板固定在所述支撑柱的一设定高...
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