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本实用新型公开了一种晶圆加工用吸附式夹持装置，包括底座，所述底座上包括有升降机构、转向机构和吸附机构；所述升降机构包括无杆气缸壳体，所述无杆气缸壳体的内侧安装有两根滑杆，两根所述滑杆上安装有无杆气缸，所述无杆气缸的一侧安装有第一连接板；所述...
该专利属于江苏宿芯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏宿芯半导体有限公司授权不得商用。

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