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本发明提供一种循环化学气相沉积高纯钽的制备方法及其应用，所述制备方法包括：以纯度≥99.95％的TaF5为原料，高纯H2为还原气体，采用循环化学气相沉积在基体上沉积钽，经去除基体，得到高纯钽；循环化学气相沉积包括采用至少三套蒸发冷凝一体化装...
该专利属于海朴精密材料(苏州)有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过海朴精密材料(苏州)有限责任公司授权不得商用。

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