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本发明属于抛光技术领域，更具体地，涉及一种抛光液、磷化铟抛光装置及方法，其中抛光液包括基液以及混合于基液中的金属粉末、磨料；金属粉末与磨料的质量比为1:2～1:4，金属粉末的金属性强于铟。本发明中一方面通过金属接触腐蚀反应将磷化铟表面氧化，...
该专利属于广东工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过广东工业大学授权不得商用。

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